3D프린팅통합센터
지역내 연구기반과 산업기반을 중심으로 3D프린팅 전문기업의 육성 및 지원을 수행합니다.
경기도공용장비 활용플랫폼
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장비명 | 웨이퍼건조기(Litho) II(Spin Rinse Dryer II(Iitho.)) |
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| 모델명 | VTI470S | |
| 제조사 | Ptl International | |
| 보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
| 연락처 | 031-546-6000 | |
| 장비활용분야 | 생산용 | |
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장비명 | 건식 식각기 VI(ICP Etcher(R&D) VI) |
| 모델명 | AMS 200 | |
| 제조사 | Alcatel-lucent | |
| 보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
| 연락처 | 031-546-6000 | |
| 장비활용분야 | 생산용 | |
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장비명 | 분자빔 에피탁시(MBE(epi)) |
| 모델명 | SVTA35-10-4-V | |
| 제조사 | Svt Associates | |
| 보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
| 연락처 | 031-546-6000 | |
| 장비활용분야 | 생산용 | |
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장비명 | 건식 식각기IV(ICP Etcher(R&D) IV) |
| 모델명 | Multiplex ICP | |
| 제조사 | Surface Technology Systems | |
| 보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
| 연락처 | 031-546-6000 | |
| 장비활용분야 | 생산용 | |
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장비명 | 건식 식각기III(ICP Etcher(R&D) III) |
| 모델명 | ICP380 | |
| 제조사 | Oxford Instruments | |
| 보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
| 연락처 | 031-546-6000 | |
| 장비활용분야 | 생산용 | |