지역내 연구기반과 산업기반을 중심으로 3D프린팅 전문기업의 육성 및 지원을 수행합니다.
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장비명 | 현미경(Microscope) |
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모델명 | MX61 | |
제조사 | Olympus | |
보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
연락처 | 031-546-6000 | |
장비활용분야 | 생산용 | |
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장비명 | 트랙 IV(4-6 inch)(Track IV(4-6 inch)) |
모델명 | MSX1000 | |
제조사 | 에스브이에스 | |
보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
연락처 | 031-546-6000 | |
장비활용분야 | 생산용 | |
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장비명 | 최소패턴 2차전자현미경(CD-SEM) |
모델명 | S-9260A | |
제조사 | Hitachi | |
보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
연락처 | 031-546-6000 | |
장비활용분야 | 생산용 | |
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장비명 | 이온 코팅기(Ion Coater) |
모델명 | GATAN 682 | |
제조사 | Gatan | |
보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
연락처 | 031-546-6000 | |
장비활용분야 | 분석용 | |
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장비명 | 웨이퍼건조기(R&D) III(Spin Rinse Dryer(R&D) III) |
모델명 | VTI470S | |
제조사 | Ptl International | |
보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
연락처 | 031-546-6000 | |
장비활용분야 | 생산용 | |