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3D프린팅통합센터

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경기도공용장비 활용플랫폼

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경기도공용장비 활용플랫폼 LIST
이미지 장비명 건식 식각기II(ICP Etcher(R&D) II)
모델명 Multiplex ICP
제조사 Surface Technology Systems
보유기관 한국나노기술원 나노공정본부
연락처 031-546-6000
장비활용분야 생산용
이미지 장비명 건식 식각기I(ICP Etcher(R&D) I)
모델명 Multiplex ICP
제조사 Surface Technology Systems
보유기관 한국나노기술원 나노공정본부
연락처 031-546-6000
장비활용분야 생산용
이미지 장비명 게이트리세스 식각장비(RIE(Foundry))
모델명 VLR RIE
제조사 Plasma Therm
보유기관 한국나노기술원 나노공정본부
연락처 031-546-6000
장비활용분야 생산용
이미지 장비명 건식 식각기(산업화) III(ICP Etcher(Foundry) III)
모델명 VLR ICP
제조사 Plasma Therm
보유기관 한국나노기술원 나노공정본부
연락처 031-546-6000
장비활용분야 생산용
이미지 장비명 건식 식각기(산업화) II(ICP Etcher(Foundry) II)
모델명 VLR ICP
제조사 Plasma Therm
보유기관 한국나노기술원 나노공정본부
연락처 031-546-6000
장비활용분야 생산용

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