3D프린팅통합센터
지역내 연구기반과 산업기반을 중심으로 3D프린팅 전문기업의 육성 및 지원을 수행합니다.
경기도공용장비 활용플랫폼
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장비명 | 건식 식각기II(ICP Etcher(R&D) II) |
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| 모델명 | Multiplex ICP | |
| 제조사 | Surface Technology Systems | |
| 보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
| 연락처 | 031-546-6000 | |
| 장비활용분야 | 생산용 | |
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장비명 | 건식 식각기I(ICP Etcher(R&D) I) |
| 모델명 | Multiplex ICP | |
| 제조사 | Surface Technology Systems | |
| 보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
| 연락처 | 031-546-6000 | |
| 장비활용분야 | 생산용 | |
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장비명 | 게이트리세스 식각장비(RIE(Foundry)) |
| 모델명 | VLR RIE | |
| 제조사 | Plasma Therm | |
| 보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
| 연락처 | 031-546-6000 | |
| 장비활용분야 | 생산용 | |
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장비명 | 건식 식각기(산업화) III(ICP Etcher(Foundry) III) |
| 모델명 | VLR ICP | |
| 제조사 | Plasma Therm | |
| 보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
| 연락처 | 031-546-6000 | |
| 장비활용분야 | 생산용 | |
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장비명 | 건식 식각기(산업화) II(ICP Etcher(Foundry) II) |
| 모델명 | VLR ICP | |
| 제조사 | Plasma Therm | |
| 보유기관 | 한국나노기술원 나노공정본부 | |
| 연락처 | 031-546-6000 | |
| 장비활용분야 | 생산용 | |